Magnetostriktive Mikroaktoren

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Projektbeschreibung

Magnetostriktive Mikroaktoren

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) erobern den Alltag (z.B. Lagesensor im Smartphone, Airbag-Sensor im KFZ). Hier wird auf kleinstem Raum mechanische in elektrische Energie gewandelt. Sehr vielversprechend, jedoch bisher kaum genutzt, ist die magnetostriktive Wandlung: unter Einfluss eines Magnetfeldes ändert sich die Länge eines Materials. Wir entwickeln Mikroaktoren, die durch elektrisch erzeugte Magnetfelder zu Biegung und Schwingung angeregt werden können. Die erste Anwendung ist ein MEMS-Lautsprecher.

 

MEMS-Aktoren auf Silizium-Wafer

Mikroflachspulen auf Silizium-Wafer

 

Schlagworte:

Mikroaktoren, Magnetostriktive Schichten, Silizium, MEMS