Sensor-Technologie

Praktikum (SenTech)

Inhalt

In diesem Praktikum sollen die Studierenden den Entwurf, die Herstellung sowie die messtechnische Überprüfung der Funktionsweise von integrierten Sensoren am Beispiel piezoresistiver Sensoren kennenlernen. Mit diesen Sensoren kann Kraft bzw. mechanische Spannung gemessen werden. Die Sensoren werden im lehrstuhleigenen Technologie-Labor auf Silizium-Wafern hergestellt. Zur Definition von planarer Geometrie und Schichtenaufbau werden zunächst Photolitographie und Maskentechnik eingesetzt. Bei den Prozessen handelt es sich im wesentlichen um Oxidation und Diffusion zur Erzeugung der sensitiven Gebiete und um Dünnschichttechnologie (Aufdampfen und Sputtern) zur Herstellung von metallischen Schichten.

Versuche zum Messen der für die Herstellung wichtigen kleinen Größen (mV, nm) gehören ebenso zum Praktikum wie die abschliessende Überprüfung der Sensoren im Testlabor.

Inhalte:

  • Piezoresistive Sensoren
  • Entwurf integrierter Sensoren
  • Photolithographie
  • Dünnschichttechnik
  • Hochtemperaturprozesse
  • Messung von Technologie-Kennwerten
  • Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung

Sensor-Prinzip

Piezoresistiver Sensor

 

Sensoren auf Si-Wafer


Kraftmessplatz

Kontakt:

Alexander Sutor Dominik Gedeon