Sensor-Technologie

Praktikum (SenTech)

  • Dozent(en): Florian Hubert
  • SWS: 4
  • Zeit / Raum: Mi, 8:00 - 12:00, Raum SR 02.028, *Für diese Lehrveranstaltung ist eine Anmeldung erforderlich. Die Anmeldung erfolgt über StudOn gemäß dem Anmeldeverfahren des Dept. EEI. Nähere Informationen zum Anmeldeverfahren erfahren Sie über das SSC EEI.*
  • Hinweise / Voraussetzungen: - Pünktliches Erscheinen bei der Vorbesprechung ist zwingend erforderlich. - Gewissenhafte Vorbereitung der Versuchsunterlagen
  • Weitere Hinweise:

    Anmeldung von 30.09.2019, 00:00 Uhr bis 06.10.2019, 23:55 Uhr über StudOn

    Vorbesprechung: 16.10.2019, 08:00 – 09:00 Uhr, Raum SR 02.028

  • UnivIS-Link
  • StudOn: http://www.studon.uni-erlangen.de/crs782365_join.html

Inhalt

In diesem Praktikum sollen die Studierenden den Entwurf, die Herstellung sowie die messtechnische Überprüfung der Funktionsweise von integrierten Sensoren am Beispiel piezoresistiver Sensoren kennenlernen. Mit diesen Sensoren kann Kraft bzw. mechanische Spannung gemessen werden. Die Sensoren werden im lehrstuhleigenen Technologie-Labor auf Silizium-Wafern hergestellt. Zur Definition von planarer Geometrie und Schichtenaufbau werden zunächst Photolitographie und Maskentechnik eingesetzt. Bei den Prozessen handelt es sich im wesentlichen um Oxidation und Diffusion zur Erzeugung der sensitiven Gebiete und um Dünnschichttechnologie (Aufdampfen und Sputtern) zur Herstellung von metallischen Schichten.

Versuche zum Messen der für die Herstellung wichtigen kleinen Größen (mV, nm) gehören ebenso zum Praktikum wie die abschliessende Überprüfung der Sensoren im Testlabor.

Inhalte:

  • Piezoresistive Sensoren
  • Entwurf integrierter Sensoren
  • Photolithographie
  • Dünnschichttechnik
  • Hochtemperaturprozesse
  • Messung von Technologie-Kennwerten
  • Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung

Sensor-Prinzip

Piezoresistiver Sensor

 

Sensoren auf Si-Wafer

 

Kraftmessplatz

Kontakt:

Florian Hubert